日本KASHIYAMA干式真空泵SDE20M20
簡單介紹
KASHIYAMA工業株式會社，多年來致力于真空技術的研究，不斷開發進取，在半導體制造領域和高科技行業中擁有*的信譽。尤其在半導體制造領域，獲得了客戶的高度評價與信賴。
日本KASHIYAMA干式真空泵SDE20M20維修保養
詳細介紹
KASHIYAMA工業的干式真空泵系列已經成為半導體制造業與液晶顯示制造行業的標準設備。并，除此之外，魯式及排氣組合式真空泵設備則在其他領域得到廣泛應用。日本KASHIYAMA干式真空泵SDE20M20維修保養
SDE系列
*高抽速可達200,000 L / min級
適用于大型晶圓/ FPD基板
回應每個過程
值得信賴的真空技術。 一個多樣化的產品組，具有的動力。
Kashiyama Industry的產品贏得了客戶的廣泛信賴，包括半導體和液晶制造領域。
我們多年來培養的真空技術已成為這種信任的基礎。
特別是，一系列干式泵已成為半導體制造工藝的標準，是一種可以說是這種真空技術的高潮的產品，并且得到了客戶的高度贊譽，它在*困難的工藝中表現出*可靠的性能。。
不僅是干泵，還有機械增壓泵，真空排氣設備等。由Kashiyama的真空技術生產的產品組在多個領域展示了它的強大功能。
特點
采用優良的倉庫性能的立式螺絲
結構材料和溫度設定導致的高耐腐蝕性
| 仕様 / 型式 *1 | SDE1220 | SDE20M20 | SDE30M20 | SDE4060 | SDE4030M20 | SDE8060 | SDE804060 |
| *大排気速度 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 60,000 | 80,000 | 120,000 | 190,000 |
| [L/min] *2 | |||||||
| 到達圧力 | 0.5 | 0.8 | 0.5 | 0.8 | 0.5 | ||
| [Pa] *2 | |||||||
| 電源電圧 | 3相 AC200～220V, 380～480V | ||||||
| (50/60Hz) | |||||||
| 外観寸法 [mm] | W:400 | W:450 | W:450 | W:750 | W:800 | W:850 | W:1000 |
| W*H*L *3 | H:780 | H:950 | H:950 | H:1200 | H:1580 | H:1220 | H:1980 |
| L:930 | L:1000 | L:1000 | L:1600 | L:1320 | L:1600 | L:1850 | |
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