欧洲一区二区视频网站_免费无遮挡无码永久在线观看视频_日韩欧美午夜成人免费手机在线观看_久久久99一区精品_日韩精品国产成人中文字幕 _日韩电影一区二区三区_国产亚洲欧美精品91_午夜激情福利1024_大香蕉久久国产_免费在线观看一区二区不卡日韩AV

英國愛德華EDWARDS晶圓半導(dǎo)體iH600干式真空泵維修

概述

Edwards 高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時間并提高生產(chǎn)率，同時減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。英國愛德華晶圓半導(dǎo)體iH600干式真空泵維修
  
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

應(yīng)用

• 負(fù)載鎖
• 輸送
• 計量
• 平版印刷
• PVD 制程
• PVD 預(yù)清潔
• RTA
• 剝離/灰化
• 刻蝕
• 植入源
• HDP CVD
• RTP
• SACVD
• MCVD
• PECVD
• LPCVD
• ALD

功能和優(yōu)勢

• 優(yōu)化了設(shè)施消耗。
• 無需預(yù)防性維護(hù)。
• 懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
• 在節(jié)省電機(jī)功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
• 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
• 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
• 整體式軸桿無需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。英國愛德華晶圓半導(dǎo)體iH600干式真空泵維修

技術(shù)數(shù)據(jù)

  
所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。

蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮(zhèn)江英國愛德華晶圓半導(dǎo)體干泵iH1000、iH600干式真空泵維修

常州揚(yáng)州泰州南通南京啟東海門如皋海門英國愛德華晶圓半導(dǎo)體干泵iH1000、iH600干式真空泵維修

海安如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州英國愛德華晶圓半導(dǎo)體干泵iH1000、iH600干式真空泵維修

臺州衢州紹興金華寧波余姚福州廈門泉州英國愛德華晶圓半導(dǎo)體干泵iH1000、iH600干式真空泵維修

深圳廣州珠海廣州惠州通州桂林南寧南昌英國愛德華晶圓半導(dǎo)體干泵iH1000、iH600干式真空泵維修

贛州武漢成都重慶荊州太原蘭州烏魯木齊英國愛德華晶圓半導(dǎo)體干泵iH1000、iH600干式真空泵維修